激光干涉仪的精度影响因素及使用验证
点击次数：970次 更新时间：2022-07-06
激光干涉仪作为现代精密测量仪器的代表，以光波为载体，具有测量精度高、测量速度快、测量范围大、测量速度分辨率高的特点。广泛应用于精密制造、测量等行业，在精密位移、直线度、垂直度等测量领域发挥着重要作用。
在干涉仪的实际使用中，需要确认其在各种测量应用中的真实精度水平，以确保测量数据的准确性和可靠性。干涉仪的测量读数与激光波长有关，因此激光频率的准确性和稳定性是干涉仪测量精度的保证。此外，干涉仪环境条件补偿系统（压力、温湿度传感器）的读数精度对测量精度有重要影响。
综上所述，影响激光干涉仪测量精度的因素包括：
1、激光频率(波长)和频率稳定性；
2、测量读数软件系统造成的误差；
3、反射镜、角锥棱角误差；
4、温湿度、压力传感器误差；
当然，具体测量任务中的测量精度也与测量人员、现场环境条件等因素有关。
激光干涉仪在购买和投入使用前应验证其关键性能。随着使用寿命的增加，干涉仪（包括环境补偿系统）的性能可能会因老化或使用不当而下降，从而影响测量精度。
因此，有必要定期校准干涉仪测量系统的关键性能参数，以确保在精确测量应用中获得准确的数据结果。根据测量验证程序的要求，需要定期校准干涉仪的激光频率、测距误差、测角误差和环境补偿传感器。
