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激光干涉仪的精度影响因素及使用验证

点击次数:904次  更新时间:2022-07-06
  激光干涉仪作为现代精密测量仪器的代表,以光波为载体,具有测量精度高、测量速度快、测量范围大、测量速度分辨率高的特点。广泛应用于精密制造、测量等行业,在精密位移、直线度、垂直度等测量领域发挥着重要作用。
  
  在干涉仪的实际使用中,需要确认其在各种测量应用中的真实精度水平,以确保测量数据的准确性和可靠性。干涉仪的测量读数与激光波长有关,因此激光频率的准确性和稳定性是干涉仪测量精度的保证。此外,干涉仪环境条件补偿系统(压力、温湿度传感器)的读数精度对测量精度有重要影响。
  
  综上所述,影响激光干涉仪测量精度的因素包括:
  
  1、激光频率(波长)和频率稳定性;
  
  2、测量读数软件系统造成的误差;
  
  3、反射镜、角锥棱角误差;
  
  4、温湿度、压力传感器误差;
  
  当然,具体测量任务中的测量精度也与测量人员、现场环境条件等因素有关。
  
  激光干涉仪在购买和投入使用前应验证其关键性能。随着使用寿命的增加,干涉仪(包括环境补偿系统)的性能可能会因老化或使用不当而下降,从而影响测量精度。
  
  因此,有必要定期校准干涉仪测量系统的关键性能参数,以确保在精确测量应用中获得准确的数据结果。根据测量验证程序的要求,需要定期校准干涉仪的激光频率、测距误差、测角误差和环境补偿传感器。
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