激光干涉仪可作为精密工具机的校正工作
点击次数：708次 更新时间：2022-03-02
激光干涉仪以激光波长为已知长度利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量，干涉仪有单频的和双频的两种。激光具有高强度、高度方向性、空间同调性、窄带宽和高度单色性等优点。
干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来作线性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等测量工作，并可作为精密工具机或测量仪器的校正工作。
激光干涉仪的应用：
1、几何精度检测可用于检测直线度、垂直度、俯仰与偏摆、平面度、平行度等。
2、位置精度的检测及其自动补偿可检测数控机床定位精度、重复定位精度、微量位移精度等。利用干涉仪不仅能自动测量机器的误差，而且还能通过RS232接口自动对其线性误差进行补偿，比通常的补偿方法节省了大量时间，并且避免了手工计算和手动数控键入而引起的操作者误差。
3、数控转台分度精度的检测及其自动补偿，利用干涉仪加上RX10转台基准还能进行回转轴的自动测量。它可对任意角度位置，以任意角度间隔进行全自动测量，其精度达±1。
4、双轴定位精度的检测及其自动补偿干涉仪系统可同步测量大型龙门移动式数控机床，由双伺服驱动某一轴向运动的定位精度，而且还能通过RS232接口，自动对两轴线性误差分别进行补偿。
5、数控机床动态性能检测利用RENISHAW动态特性测量与评估软件，可用激光干涉仪进行机床振动测试与分析（FFT），滚珠丝杠的动态特性分析，伺服驱动系统的响应特性分析，导轨的动态特性（低速爬行）分析等。
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