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东京精密E-TS-1070B 精度演算误差

点击次数:556  更新时间:2023-04-28

东京精密E-TS-1070B 精度演算误差方式介绍

1.G1G2接触子间放入微動台。

2.先移动G1接触子、控制部指示値为行程的一时,(-210~-220μm)固定接触子。

.然后移动G2接触子、控制部指示値μ时固定接触子。

4.微動台朝返回方向返回100μ(100μ)确认控制部 指示値。

5.微動台至进给原位置(零位置)、确认控制部 指示値0μm〔注1〕。

6.微動台在进给方向进给100μm(100μm)确认控制部指示値。

 7.微動台回到原位置(零位置)、确认控制部指示値0μm〔注1〕。

8.0μm→-100μm指示値0μm→+100μm指示値不超过1.5μm

 9.0μm→-100μm指示値0μm→+100μm指示値的差超过1.5μm时需再调整重复[1.][8.]的作业不超过时进行接下来的检查

〔注1〕 微動台在原位置(零位置)控制部指示値不为0μm需调整接触子重复〔4.〕~〔6.〕的作业

 ※ 为减少演算误差需进行绞合线单体感度测量(別紙)。


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