扒一扒激光干涉仪造成测量误差的原因
点击次数：915 更新时间：2021-12-22
激光干涉仪，利用激光作为长度基准，对数控设备（加工中心、三座标测量机等）的位置精度（定位精度、重复定位精度等）、几何精度（俯仰扭摆角度、直线度、垂直度等）进行精密测量的精密测量仪器。
干涉仪集成干涉镜与激光器于一体，简化了调整步骤，减少了调整时间，但是我们在使用中往往会出现检测偏离值，偏离我们的预估，以至于在高精度检测时，对设备产生怀疑。下面，小编就激光干涉仪测量误差的部分原因进行简单的介绍，希望能帮助大家！
1、阿贝误差
因测量光学镜组的安装高度不在被测设备的运动轴上引起的测量误差称之为阿贝误差。产生的原因是设备移动时存在俯仰、扭摆差。因此，光学镜组与运动轴偏置距离越远，引起的阿贝误差越大。
2、环境因素
环境补偿单元能准确采集空气温度、压力、相对湿度信息，基于Edlen公式计算空气折射率，以此对激光波长进行补偿。1000mm示值因环境温度、压力、空气湿度各自变化引起的示值变化量（单位：um）
3、余弦误差
激光束路径与被测轴之间存在的任何未准直都会造成测得的距离和实际的运动距离之间有差异，此误差被称为余弦误差。当激光干涉仪与运动轴未准直时，余弦误差会使得测量的距离比实际距离要短。随着未准直角度的增加，误差也跟着显著增加。
4、死程误差
死程误差是在线性测量过程中与环境因素改变有关的误差，在正常状况下，死程误差并不大，而且只会发生在定标后以及测量过程中的环境改变。
