哪些因素影响了激光干涉仪的测量精度
点击次数：1049 更新时间：2021-10-21
激光干涉仪是利用激光作为长度基准，对数控设备的位置精度、几何精度进行测量的仪器。仪器可配合各种折射镜、反射镜等来作线性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等测量工作，并可作为精密工具机或测量仪器的校正工作。
干涉仪具有有线性测量镜组、角度测量镜组、平面度测量组件、直线度测量组件、垂直度测量镜组、激光器准直辅助镜等等，实际使用中，有些不同功能的镜组也可以相互组合使用，以满足测量需要。
比如角度测量镜组中的反射镜也可以替换线性测量镜组中的反射镜;激光器准直辅助镜的使用可以减少准直调整的时间。同时，仪器各个测量镜组也可以在别的测量工作中使用，常见的利用分光镜或者光学直角器，达到改变光路，方便测量的目的。
激光干涉仪在实际使用中，需要确认其在各个测量应用中能够达到的真实精度水平以确保测量数据准确可靠。
干涉仪的测量读数终均与激光波长有关，因此激光器频率的准确性和稳定性是干涉仪测量精度的保障。此外，仪器的环境条件补偿系统(压力、温湿度传感器)的读数准确性对Z终的测量精度有着重要的影响。
总结起来，影响激光干涉仪测量精度的因素包括：
1、激光器频率(波长)及频率稳定性;
2、测量读数软件系统带来的误差;
3、反射镜、角锥棱角误差;
4、温湿度、压力传感器误差。
当然，在具体测量任务中的测量精度还与测量人员、现场环境条件等因素有关。
