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激光干涉仪配置选型注意事项

点击次数:1514  更新时间:2018-06-20

激光干涉仪资讯信息平台,激光干涉仪配置选型注意事项:

  • 平面度测量配置需求:平面度镜组+角度镜组
  • 平行度测量配置需求:依据轴向量程范围,选择相应直线度镜组即可
  • 短垂直度测量(0.1~3.0)m配置需求:短直线度镜组+垂直度镜组
  • 长垂直度测量(1.0~20.0)m配置需求:长直线度镜组+垂直度镜组
  • 直线度附件:主要应用于Z轴的直线度测量和垂直度测量

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